真空爐是真空環(huán)境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達133×（10-2~10-4）h.爐內加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲（如鎢絲）通電加熱，也可用高頻感應加熱。高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
原理
真空爐是利用熱媒水的相變進行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當溫度上升至某真空狀態(tài)下的飽和溫度時，蒸發(fā)成飽和和蒸汽，完成第 一次相變過程。凝結水流進蒸發(fā)室繼續(xù)吸熱，完成相變循環(huán)。真空熱水鍋爐的下部結構由燃燒室和傳熱管束組成；上部為真空室，其中插入了U型管熱交換器；真空室外接抽氣單元，使真空室保持**的真空度，并將真空室內不凝結氣體抽出，提高U型熱交換器的換熱效率。
分類：
真空爐按照設備應用可分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。
按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
功能
1）真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。
2）真空燒結爐在真空狀態(tài)下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。
3）真空氣氛爐又名無氧退火爐，真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。
4）真空釬焊爐在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝（釬焊溫度因材料不同而異）。
優(yōu)點
1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系。
2）對環(huán)境沒有污染，不需進行三廢處理。
3）爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c.但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內。
4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節(jié)、功率調節(jié)等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。
5）能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進的真空爐加熱室采用優(yōu)質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節(jié)能效果顯著。
真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。
